Système de mesureASML
YieldStar S-200B
Données sur la machine
- Designation de la machine:
- Système de mesure
- Fabricant:
- ASML
- Modèle:
- YieldStar S-200B
- Année de construction:
- 2011
- État:
- très bon (occasion)
- fonctionnalité:
- entièrement fonctionnel
Prix et localisation
- Lieu:
- Heilbronner Str. 22, 01189 Dresden, DE
Détails sur l'offre
- Identifiant de l'annonce:
- A19967480
- Numéro de référence:
- DV10125
- Dernière mise à jour:
- le 10.09.2025
Description
Modèle : S200B
Type : YieldStar
Année de fabrication : 2011
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Données techniques :
Taille du wafer : 300 mm (12")
Source laser : LPPS, refroidissement par eau
Informations générales :
Le YSS200B est un système de mesure optique de superposition utilisé pour des mesures rapides et très précises des écarts de superposition sur des wafers de 300 mm – typiquement pour le suivi après gravure dans le contrôle des processus de production en tant que système autonome.
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