Module frontal de wafer 300 mmBROOKS ASYST
Spartan EFEM Sorter
Données sur la machine
- Designation de la machine:
- Module frontal de wafer 300 mm
- Fabricant:
- BROOKS ASYST
- Modèle:
- Spartan EFEM Sorter
- Année de construction:
- 2010
- État:
- usagé
Prix et localisation
- Lieu:
- Heilbronner Str. 22, 01189 Dresden, Deutschland
Détails sur l'offre
- Identifiant de l'annonce:
- A20798077
- Numéro de référence:
- LW43278
- Dernière mise à jour:
- le 19.12.2025
Description
Modèle : ASYST Spartan EFEM
Type : Trieur
État : Occasion
Données techniques :
100–240 V AC
50/60 Hz
10 A
Généralités :
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EFEM 300 mm avec 3 ports de chargement, mini-environnement salle blanche et robot transfert de wafer intégré.
Cet appareil est un Equipment Front End Module (EFEM) de la série ASYST Spartan, conçu pour la manipulation entièrement automatisée des wafers de silicium 300 mm en fabrication de semi-conducteurs. Il dispose de trois ports de chargement, d’un mini-environnement avec filtres à air ULPA, d’un éclairage interne, de systèmes de sécurité complets ainsi que de toutes les interfaces nécessaires à l’intégration sur ligne. Un robot transfert de wafer totalement intégré permet de prélever les wafers dans les load ports FOUP/cassettes, de les séparer, puis de les transférer avec précision vers les modules de traitement en aval.
Année de fabrication : 27.12.2010
Incl. CD avec manuels d’utilisation, de maintenance et d’installation (9701-3060-01 Rev G)
L'annonce a été traduite automatiquement et des erreurs de traduction peuvent apparaître.
Fournisseur
Enregistré depuis: 2014
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