08 Station de Maseveon + Unité de dégazage LC

Masevon Station Chamber Up-Down + + LC Degassing Unit

1. Introduction :
1. Ce document décrit les exigences fonctionnelles concernant a;
1.1. Chambre de dégazage à plateau LC
1.2. La chambre de dégazage du plateau LC est une (chambre à vide contrôlée) dans laquelle
un plateau en aluminium contenant du liquide LC est dégazé sous vide
l'environnement pendant une période donnée (c'est-à-dire que l'air emprisonné est évacué)
Profil de vide;
1.1. Points de consigne de pression réglables entre 1.103 et 1.10-3mBar
1.1.1. Plage de mesure : 1.103 – 5.10-4
1.2. Points de consigne de temps réglables entre 1 et 600 min par pas
1.2.1. L'étape de dégazage (D) peut durer de quelques minutes à quelques jours
Gedpfx Abewam Sasgekc
1.3. Les taux d'évacuation et de ventilation doivent être contrôlables
1.4. Le cycle d’évacuation (A – D) est effectué automatiquement
1.4.1. L'étape de ventilation (E) doit être activée manuellement (opérateur)
1.5. Profil de dégazage typique
2. Intérieur;
2.1.Chambre de traitement en acier inoxydable (aluminium) poli (intérieur)
2.1.1. Taux de fuite à discuter
2.2. Tiroir (adaptation) du plateau LC pour (dé)charger facilement le plateau LC (pas de choc/secousse)
mouvement autorisé), voir Section 2 Dimensions du plateau LC et annexe 1
2.3. Le plateau LC doit être de niveau (waterpas) à tout moment pour éviter tout déversement de LC
2.4.La chambre doit être facilement/rapidement accessible pour le nettoyage et/ou le plateau LC
(déchargement
2.5. L'intérieur de la chambre doit être poli pour faciliter le nettoyage et éviter
contamination et/ou collecte d'humidité
2.6. Possibilité de surveillance (fenêtre) du cycle de dégazage, c'est-à-dire surveillance de la CL
comportement de la surface du liquide dans le plateau LC
2.7. Aucune contamination du processus causée par le matériau de la chambre (-fabrication)

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