Système de pulvérisation Pfeiffer C590 PVD Evap.Pfeiffer
C590
Données sur la machine
- Designation de la machine:
- Système de pulvérisation Pfeiffer C590 PVD Evap.
- Fabricant:
- Pfeiffer
- Modèle:
- C590
- État:
- bon (utilisé)
Prix et localisation
- Lieu:
- Albert Plesmanstraat 3, 6021 PR Budel, Nederland
Détails sur l'offre
- Identifiant de l'annonce:
- A6899652
- Dernière mise à jour:
- le 28.12.2024
Description
2x Pfeiffer Classic 590 disponibles !
Prix : 99.500 EUR/pièce.
Configuration Coater 1 :
2x Pfeiffer TPH 2301 (2300ls) complètement révisés
Pfeiffer DCU 600
2x VAT Throttle Valve 64048-pe48-ads2/0001
1x Pfeiffer PKR251 capteur de gamme complète
Pfeiffer TPR280 pour le prévacuum
Prépompe Pfeiffer DUO 120 (120m3/h)
Chambre à vide :
pour la taille du substrat rond 840mm
y compris le blindage et le jeu de blindage de rechange
2x fenêtre de visualisation
Plusieurs traversées
Traversée rotative, thermocouple compris.
Chauffage à infrarouge
Watermanifold plus valves
Fodpfx Ashwv Tfob Hoft
Vannes à vide pour l'évacuation, le pompage, etc.
Notes : Actuellement utilisé pour l'évaporation de la résistance (pas de bateaux disponibles)
Le PLC actuel et l'armoire électrique sont supprimés en raison de l'IP. Cependant, si nécessaire, notre société Orange Thin Films peut effectuer une remise à neuf complète avec l'automatisation de Labview et de nouveaux processus (tels que Eeam-Sputtering-Evaporation, etc.).
Configuration Coater 2 :
2x Pfeiffer TPH 2201 s p c (turbo horizontal 2200ls) complètement révisés
Pfeiffer DCU 600
2x VAT Throttle Valve 64048-pe48-ads2/0001
1x Pfeiffer PKR251 capteur de gamme complète
Pfeiffer TPR280 pour le prévacuum
Prépompe Pfeiffer DUO 120 (120m3/h)
Chambre à vide :
pour la taille du substrat rond 840mm
y compris le blindage et le jeu de blindage de rechange
2x fenêtre de visualisation
Plusieurs traversées
Traversée rotative, thermocouple compris.
Chauffage à infrarouge
Watermanifold plus valves
Vannes à vide pour l'évacuation, le pompage, etc.
Notes : Courant utilisé pour l'évaporation de la résistance (pas de bateaux disponibles)
Le PLC et l'armoire électrique actuels sont supprimés en raison de l'IP. Toutefois : si nécessaire ou
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