Système de pulvérisation Pfeiffer C590 PVD Evap.Pfeiffer
C590
Données sur la machine
- Désignation de la machine:
- Système de pulvérisation Pfeiffer C590 PVD Evap.
- Fabricant:
- Pfeiffer
- Modèle:
- C590
- État:
- bon (utilisé)
Prix et localisation
- Emplacement:
- Albert Plesmanstraat 3, 6021 PR Budel, Nederland
Détails sur l'offre
- Identifiant de l'annonce:
- A6899652
- Mise à jour:
- dernière mise à jour le 28.12.2024
Description
2 x Pfeiffer Classic 590 disponibles !
Prix : 99 500 EUR/unité.
Configuration du système de revêtement 1 :
2 x Pfeiffer TPH 2301 (2300 l/s) entièrement remis à neuf
Pfeiffer DCU 600
2 x vanne de régulation VAT 64048-pe48-ads2/0001
1 x capteur Pfeiffer PKR251 à large plage
Pfeiffer TPR280 pour le prévide
Pfeiffer DUO 120, pompe de prévide (120 m3/h)
Chambre à vide :
pour des substrats de diamètre rond 840 mm
avec blindage et jeu de blindage de rechange
2 x hublots
Plusieurs traversées
Traversée rotative avec thermocouple
Chauffage infrarouge
Collecteur d'eau avec vannes
Vannes de vide pour la dépressurisation, le pompage, etc.
Remarques : actuellement utilisé pour le dépôt par évaporation résistive (aucun bateau de dépôt disponible).
L’automate programmable industriel (API) et l’armoire électrique actuels ont été retirés pour des raisons de propriété intellectuelle. Toutefois, si nécessaire, notre entreprise, Orange Thin Films, peut effectuer une remise à neuf complète avec une automatisation Labview et de nouveaux procédés (tels que Eeam, le dépôt par pulvérisation cathodique, l’évaporation, etc.).
Configuration du système de revêtement 2 :
2 x Pfeiffer TPH 2201 s p c (turbomoléculaire horizontale 2200 l/s) entièrement remis à neuf
Pfeiffer DCU 600
2 x vanne de régulation VAT 64048-pe48-ads2/0001
1 x capteur Pfeiffer PKR251 à large plage
Pfeiffer TPR280 pour le prévide
Pfeiffer DUO 120, pompe de prévide (120 m3/h)
Chambre à vide :
pour des substrats de diamètre rond 840 mm
avec blindage et jeu de blindage de rechange
2 x hublots
Plusieurs traversées
Lsdpshwv Tfofx Ag Hjrr
Traversée rotative avec thermocouple
Chauffage infrarouge
Collecteur d’eau avec vannes
Vannes de vide pour la dépressurisation, le pompage, etc.
Remarques : actuellement utilisé pour le dépôt par évaporation résistive (aucun bateau de dépôt disponible).
L’automate programmable industriel (API) et l’armoire électrique actuels ont été retirés pour des raisons de propriété intellectuelle. Toutefois, si nécessaire, notre entreprise, Orange Thin Films, peut effectuer une remise à neuf complète avec une automatisation Labview et de nouveaux procédés (tels que Eeam, le dépôt par pulvérisation cathodique, l’évaporation, etc.).
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Fournisseur
Dernièrement en ligne : la semaine dernière
Enregistré depuis: 2019
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