Générateur
UHV deposition system Ebeam-sputter

à négocier hors TVA
55 000 €
État
Occasion
Lieu
Budel Pays-Bas
Générateur UHV deposition system Ebeam-sputter
Générateur UHV deposition system Ebeam-sputter
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Données sur la machine

Designation de la machine:
Générateur
Fabricant:
UHV deposition system
Modèle:
Ebeam-sputter
État:
usagé

Prix et localisation

à négocier hors TVA
55 000 €
Lieu:
Albert Plesmanstraat 3, 6021 PR Budel, Nederland Pays-Bas
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Détails sur l'offre

Identifiant de l'annonce:
A16976251
Dernière mise à jour:
le 02.09.2024

Description

Système de dépôt UHV (pulvérisation par faisceaux)



Système de dépôt UHV :

A été utilisé pour le dépôt de titane et d'or (ebeam).
L'unité de dépôt Ebeam est retirée
La cryopompe et la prépompe sont retirées
Sas de chargement :
pour les échantillons ronds de 75 mm
Chauffe-échantillon inclus
Pompe turbomoléculaire 450l/s (Leybold)
Chambre de traitement :
Dimensions : largeur 680 mm x hauteur 750 mm x profondeur 590 mm
Blindage inclus
Porte à double oring (partiellement pompée)
Chauffage
Pression de base basse 10-7mbar, haute 10-8mbar
Dcedpfjuhcn Nsx Ab Esr
Électronique :
Armoire de base (unité de faisceau d'électrons enlevée)
Ancien automate (pour la pompe/l'évent)
Armoire à gaz/eau :
Diverses vannes/réducteurs de débit pour le gaz et l'eau


Remarque : D&M Vacuumsystems peut adapter le système à de nouveaux procédés (faisceau d'électrons ou pulvérisation cathodique), y compris une nouvelle électronique et un nouveau logiciel.



EUR 55.000,-

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Enregistré depuis: 2019

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