GénérateurUHV deposition system
Ebeam-sputter
Données sur la machine
Prix et localisation
- Lieu:
- Albert Plesmanstraat 3, 6021 PR Budel, NL
Détails sur l'offre
- Identifiant de l'annonce:
- A16976251
- Dernière mise à jour:
- le 02.09.2024
Description
Système de dépôt UHV :
A été utilisé pour le dépôt de titane et d'or (ebeam).
L'unité de dépôt Ebeam est retirée
La cryopompe et la prépompe sont retirées
Sas de chargement :
pour les échantillons ronds de 75 mm
Chauffe-échantillon inclus
Pompe turbomoléculaire 450l/s (Leybold)
Dcsdpfx Asuhcn Nsarjn
Chambre de traitement :
Dimensions : largeur 680 mm x hauteur 750 mm x profondeur 590 mm
Blindage inclus
Porte à double oring (partiellement pompée)
Chauffage
Pression de base basse 10-7mbar, haute 10-8mbar
Électronique :
Armoire de base (unité de faisceau d'électrons enlevée)
Ancien automate (pour la pompe/l'évent)
Armoire à gaz/eau :
Diverses vannes/réducteurs de débit pour le gaz et l'eau
Remarque : D&M Vacuumsystems peut adapter le système à de nouveaux procédés (faisceau d'électrons ou pulvérisation cathodique), y compris une nouvelle électronique et un nouveau logiciel.
EUR 55.000,-
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Fournisseur
Enregistré depuis: 2019
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