Pompe à vide sèche

ULVAC Model LR600

Ici, nous offrons une pompe à vide sèche ULVAC.
Pompe à vide sèche ULVAC
Solution pour pompes à processus rugueux
Pompe à vide sèche
L'approche unique d'ULVAC pour l'utilisation de la chaleur latente
corps de pompe permet la série LR / HR / UR,
même dans les processus les plus stricts.
ULVAC a poursuivi ses efforts de conception pour maintenir
température élevée extrêmement uniforme sur toutes les étapes de la pompe.
et cette famille de pompes est optimisée pour les applications CVD et gravure.
Compatible avec le système ECO-SHOCK d'ULVAC pour des économies d'énergie supplémentaires
Propriétés
La pompe de la série LR est conçue pour charger les chambres de soupape et les processus PVD.
La conception unique en aluminium d'ULVAC permet une distribution de température très uniforme dans tout le corps de la pompe :
La pompe ULVAC LR-Series est conçue pour les applications qui nécessitent une pompe chauffée, des conduites de gaz chauffées et/ou des tuyaux d'échappement chauffés
Excellente capacité de pompage de l'hélium
Moteur de mise en conserve pour la sécurité et la facilité d'entretien
Résiste aux coupures de courant allant jusqu'à 500 ms.
Les composants internes sont spécialement traités pour assurer un niveau élevé de dureté de surface et une excellente résistance à la corrosion.
Cela empêche l'usure des parties de la pompe interne lorsque ces gaz corrosifs sont exposés.
(Série LR)
Conçu pour les gaz de procédé qui produisent des sous-produits en poudre, tels que les fours à croissance cristalline Si
Pré-pompe pour
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