Système de métrologie de surface

FRT MicroProf MPR 1250

Fries Research & Technology
Désignation de l’appareil : FRT MicroProf® MPR 1250
Le FRT MicroProf® MPR 1250 est un système de métrologie de surface de haute précision de la série MicroProf® de Fries Research & Technology GmbH (FRT).
Ces systèmes sont conçus pour l’analyse non destructive et sans contact des paramètres de surface tels que la topographie, la rugosité, l’épaisseur de couche et d’autres caractéristiques.
Caractéristiques du FRT MicroProf :
Détails de l’appareil :
Modèle : FRT MicroProf® MPR1250
Numéro d’article : 200 00
Type de capteur : CWL 300 µm
Numéro de série : 0904001
Principe de mesure : capteur ponctuel chromatique-confocal
Source lumineuse : lampe halogène, lumière blanche
Résolution verticale : jusqu’à 3 nm
Précision de mesure (Z) : 100 nm
Résolution latérale (XY) : 2,5 µm
Angle de mesure par rapport à la surface : 90° ±30°
Taille maximale de l’échantillon : env. 310 x 310 x 50 mm
Données techniques (extrait) :
Table XY :
Type : table croisée XY compacte
Course (plage de mesure) : 200 x 200 mm
Guidage : glissière à rouleaux croisés mécaniques
Entraînement : moteur DC avec vis à billes
Système de mesure de position : règle optique Heidenhain avec repère de référence
Résolution du système de mesure : 0,2 µm
Répétabilité : < ±1 µm
Orthogonalité XY : < 4 µm / 200 mm
Faux-rond d’axe (par axe) : < 2 µm / 200 mm
Axe Z (motorisé) :
Type : axe linéaire
Course : 50 mm (option 100 mm)
Entraînement : moteur pas à pas avec vis-mère
Jeu latéral : < 2 µm / 50 mm
Ajustement grossier manuel (en option) :
Type : guidage queue d’aronde
Plage d’ajustement : jusqu’à 300 mm de hauteur d’échantillon
Mesure :
Distance minimale entre points (XY) : 0,6 µm
Dimension de l’échantillon : env. 310 x 310 x 50 mm
Poids max. de l’échantillon : 5 kg (option 10 kg)
Vitesse de mesure : 1 µm/s jusqu’à 100 mm/s maximum
Système :
Poids total : env. 275 kg (système de mesure : 225 kg)
Empreinte au sol du système de mesure : env. 0,9 x 0,8 m
Dimensions de la commande (L x P x H) : env. 0,55 x 0,53 x 0,32 m
Alimentation (UE/US) : 110–240 V, 50–60 Hz, 16 A
Consommation : env. 300–400 W
Iedpfx Adjwh Swdewsa
Conditions de fonctionnement :
Plage de température : 22 °C ±5 °C
Stabilité de température : < 0,5 °C
Poids env. 500 kg
État :
L’appareil est en très bon état technique et esthétique.
Tous les axes se déplacent avec précision et de manière régulière.
Contenu de la livraison :
MicroProf® MPR200 00 système de mesure XY
Unité de commande
Câbles de connexion
(Des modifications et des erreurs dans les données techniques sont possibles !)
Visite et essai sur place possibles sur rendez-vous.
Nous serons ravis de répondre à vos questions par téléphone.

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